"Микрон" в 2014 году начнет серийное производство микросхем по топологии 65 нанометров.

ОАО "НИИМЭ и Микрон", крупнейший производитель и экспортер микросхем и RFID-продукции в Восточной Европе и СНГ, входящий в отраслевой холдинг ОАО "РТИ", завершил разработку собственной технологии создания интегральных схем по топологии 65 нанометров и планирует в 2014 году начать их серийное производство на своем заводе в Зеленограде.
Разработка 65-нм технологии, занявшая около двух лет, успешно завершилась в декабре 2013 года: были получены первые работающие тестовые кристаллы. Исследования показали, что транзисторы в новых кристаллах работают в 1,5 раза быстрее, чем выполненные по уже освоенной в производстве 90-нм технологии, при одновременном снижении потребляемой энергии более чем в 2 раза.
В технологическом процессе использовалась ультрафиолетовая фотолитография с длиной волны излучений 193 нм, которая применяется для серийного производства 90-нм чипов. Для получения транзисторов по топологии 65 нм специалистами "Микрона" были разработаны специальные алгоритмы внесения оптической коррекции фотолитографии, проведена оптимизация плазмохимических процессов, химико-механической обработки, ионной имплантации, операций термического окисления, а также разработаны модели работы транзисторов и других элементов.
После завершения разработки правил проектирования (PDK) и описания экспериментальных моделей работы всех элементов, предназначенных для оптимизации процесса проектирования, они будут переданы российским дизайн-центрам.
"Освоение "Микроном" 90-нм технологии и успешный запуск производства в 2012 году во многом помог подготовить инфраструктуру, инженеров-технологов и разработчиков к переходу на новый топологический уровень, - отметил генеральный директор ОАО "НИИМЭ и Микрон", академик РАН Геннадий Красников. – Получив уникальный опыт разработки собственной технологии в дополнение к уже имеющемуся у нас опыту создания современного микроэлектронного производства, мы сможем приступить к серийному производству по 65-нм технологии, одновременно двигаясь к следующему топологическому уровню - 45 нанометрам".
Процесс производства по технологии 65-нм совместим с основной инфраструктурой и оборудованием существующей линии по производству интегральных схем на пластинах диаметром 200 мм. Завершив в апреле 2014 года установку дополнительного технологического и контрольно-измерительного оборудования и проведя сертификацию 65-нм процесса, "Микрон" сможет приступить к серийному производству микросхем по принципиально новым для России технологиям.
"В рамках нашей технологии разработчикам будут доступны три типа транзисторов ядра с различным соотношением производительности и энергопотребления, что даст им широкие возможности и гибкость в проектировании интегральных схем", - отметил заместитель генерального директора ОАО "НИИМЭ и Микрон" по научной работе Николай Шелепин. – С открытием серийного производства на "Микроне" наши дизайн-центры, разрабатывающие элементную базу по топологии 65 нм, смогут перенести ее производство из стран Юго-Восточной Азии на территорию России".
Первое изделие по 65-нм технологии планируется запустить в производство уже в апреле. Это будет универсальная память ОЗУ емкостью 16 Мб (100 млн. транзисторов), используемая в различных вычислительных системах. В дальнейшем планируется освоить в серийном производстве другие логические и аналогово-цифровые полупроводниковые приборы, в том числе с встроенной памятью: процессоры и микропроцессоры, ЦАП/АЦП, программируемая матричная логика и др.

Для справки: Название компании: НИИ молекулярной электроники и завод Микрон, ЗАО (НИИМЭ и Микрон) Регион: ********** Адрес: ********** Вид деятельности: ********** Телефоны: ********** Факсы: ********** E-Mail: ********** Web: ********** Руководитель: ********** [Для просмотра контактных данных нужно зарегистрироваться или авторизироваться]